L'application des compresseurs d'hélium1. Principalement utilisé dans les semi-conducteurs, servant de gaz protecteur pour l'évaporation, la pulvérisation et les systèmes d'aspiration d'implantation ionique dans l'équipement de processus frontal. Les réactions chimiques qui se produisent pendant le traitement des semi-conducteurs sont généralement basées sur les gaz ou le lique
