Le compresseur d'hélium est l'unité d'entraînement du système de cryopump ou d'autres unités de réfrigération, utilisées pour fournir des gaz d'hélium de haute pureté à la cryopump ou à d'autres unités de réfrigération. Quels sont les avantages de l'utilisation d'un compresseur d'hélium? Quelle est la portée de l'utilisation des compresseurs d'hélium?
L'hélium est largement utilisé dans divers domaines, tels que la recherche de supraconductivité à basse température, l'analyse de la chromatographie en phase gazeuse, le traitement thermique des matériaux, les tests de pression, la technologie médicale, etc. En tant que ressource rare, l'hélium a été accordé de plus en plus d'attention de tous les domaines de la vie . Sur la base de sa rareté et de sa non-renouvellement, les systèmes de récupération de l'hélium sont très populaires. Ici, des compresseurs d'hélium sont utilisés, ce qui peut réutiliser l'hélium pour réduire les pertes. Dans des circonstances normales, les grandes entreprises choisiront des compresseurs d'hélium professionnels.
Les compresseurs d'hélium sont principalement utilisés dans les systèmes de vide pour l'évaporation, la pulvérisation et l'implantation ionique de l'équipement de processus frontal semi-conducteur, et il est également largement utilisé dans les domaines de l'astronomie, de l'aérospatiale, médicaux et autres.