La récupération et la purification de l'hélium sont un domaine avec des perspectives d'application importantes. L'hélium est un gaz rare important avec des caractéristiques telles que l'inertie et une bonne étanche à l'air. Il est largement utilisé dans diverses industries, comme la recherche médicale, scientifique, l'aérospatiale, etc. Cependant, l'offre d'hélium est limitée et les ressources mondiales diminuent progressivement, ce qui rend la récupération et la purification de l'hélium particulièrement importantes.

L'application des compresseurs d'hélium1. Principalement utilisé dans les semi-conducteurs, servant de gaz protecteur pour l'évaporation, la pulvérisation et les systèmes d'aspiration d'implantation ionique dans l'équipement de processus frontal. Les réactions chimiques qui se produisent pendant le traitement des semi-conducteurs sont généralement basées sur les gaz ou le lique

Dans le système de récupération et de purification de l'hélium, le compresseur est l'un des équipements très importants, et sa sélection doit être raisonnablement conçue et ajustée en fonction des propriétés et des exigences de l'hélium pour assurer la qualité et la sécurité de l'hélium. Voici quelques suggestions pour choisir un compresseur